在半導體及液晶面板等電子零件進行蝕刻處理時，由於主要使用醋酸、硝酸以及氟酸的混合物體，因此產生大量混酸廢液。此次開發的技術可以利用溶劑析出法從混酸廢液中分別分離回收各種酸。分離回收製程如下，（1）利用乙醇從含有醋酸、硝酸以及氟酸的混酸廢液中分離回收醋酸；（2）利用磷酸酯從含有硝酸及氟酸的溶液中分離回收硝酸；（3）再用磷酸酯從含有氟酸的溶液中分離回收氟酸。在處理量為每月50噸的40段實證Plant的運行中，證實醋酸回收率在97％以上，醋酸純度在99％以上，實現了穩定分離回收。