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超音波乾式清洗機  
 
超音波乾式清洗機
     
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產品介紹

玻璃基板尺寸 ：14"*16"mm。
玻璃基板厚度 ：T=0.55mm，0.7mm，1.1mm。
玻璃基板輸送機高度 ：900mm±30mm。
玻璃基板輸送方向 ：由左至右，或由右到左。
TACT TIME ：≧15sec/pcs。

 

 
 
 
超音波清洗機主機
機架
X軸搬移機構
真空平台及升降機構
玻璃定位機構
輸送機傳動機構

 

 
 
 
採用日本伸興（SHINKO）UVU-F TYPE 乾式超音波清洗主機
入口及出口各裝有除靜電裝置。
其規範、除塵原理、除塵能力參考附頁。

 

 
 
 
SS41（40＊40＊2.3t）四方管，燒焊結合，粉體烤漆塗裝。
機台封板 ：不鏽鋼亮面下封板＋PVC上封板。
HEPA FILTER UNIT ︰AIR TECH。
 

 
 
 
搬移速度 ：0-200mm/sec (MAX)．
搬移距離 ：500mm (有效搬移距離)．
搬移驅動方式 ：三菱伺服馬達。
搬移傳動方式 ：導軌及滑塊、配合精密滾珠螺桿傳動。

 

 
 
 
真空平台 ：無油式真空幫浦。
升降機構 ：伺服馬達配合直線軸承及導柱，作上昇/下降動作。
升降驅動方式 ：三菱伺服馬達驅動。
玻璃厚度設定 ：可設定玻璃厚度，自動補償Gap，玻璃厚度由人機介面

 

 
 
 
具有玻璃定位機構。

 

 
 
 
玻璃基板輸送速度 ：200mm/sec (可調速)。
玻璃基板輸送方式 ：圓型皮帶輪+無塵室用圓型O-RING(SILICON)。
玻璃基板輸送輪 ：M/C塑鋼輪+O-RING（SILICON）。
輸送帶驅動馬達 ：25W AC感應式馬達+調速器（東方）。

 

 
 
 
控制系統 ：三菱FX-2N程式控制機系統＋DIGIT人機 介面。
耗 電 量 ：8.5Kw。
電 源 ：三相，220VAC，60/50Hz。
空 壓 源 ：5-7kg/cm2。
機台尺寸 ：1720mm×1100mm×1750mm(參考尺寸，依final圖面)。
重量 ：650㎏(含BLOWER & HEPA)

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