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移載機

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玻璃基板尺寸	：14"*16"。
玻璃基板厚度	：T=0.55mm，0.7mm，1.1mm。
玻璃基板輸送機高度	：900mm±25mm。
移載功能	：具合流、或分流功能。
TACT TIME	：≧25sec/pcs。

機架
上下片檢測、及玻璃定位機構
真空平台、及平台升降機構
平台左右移載機構
輸送機傳動機構

骨架

：	鋁擠型BP4040、BP4080或SS41（ 40X40X2.3t ）
	四方管，燒焊結合，粉體烤漆塗裝

上防塵板

：PVC板。

下封板

：不鏽鋼亮面板。

HEPA FILTER UNIT

︰AIR TECH.。

真空平台

：鋁合金、平面研磨、陽極處理。

真空發生

：無油式真空幫浦。

升降機構

：	伺服馬達配合滾珠螺桿、直線軸承及導柱，
	作上昇/下降動作。

升降驅動方式

：使用伺服馬達，可做多點位置控制。

左右移載速度

：0-400mm/sec。

左右移載距離

：1928mm (依final圖面)。

移載傳動機構

：導軌及滑塊、配合模組化傳動機構。

移載驅動方式

：	三菱伺服馬達。
	移載速度、移載位置於人機介面上，教導設定，PLC位
	置模組控制；移載行程兩端裝　設極限開關。
	平台到達左右兩端時自動緩衝減速停止；若遇輸送帶工
	作中，平台可於緩衝位置STANDBY。

輸送機傳送速度

：200mm/sec (可調速)。

輸送機傳送方式

：時規皮帶+無塵室用時規皮帶輪。

玻璃基板傳送滾輪

：PE導輪+O-RING（SILICON）。

傳送滾輪PITCH

：60mm。

輸送機長度

：320mm長(依final圖面)。

輸送機驅動馬達

：	25W AC感應式馬達+變頻器；可配合上下流速度作
	多段速控制。

控制系統	：三菱程式控制機系統＋DIGIT人機介面。
耗電量	：2.0Kw。
電源	：三相，220VAC，60/50Hz。
空壓源	：5.0㎏/㎝2。
機台尺寸	：2568mm×1120mm×1750mm(參考尺寸，依final圖面)。
重量	：400㎏

平台升降及移載均使用伺服馬達，多點位置教導設定，調機快速簡單，定位精確。
THK導軌及滑塊，品質有保證。
模組化傳動機構（內部滾珠螺桿、導軌及滑塊），整體包裝，降低油氣，灰塵粒子產生及堆積。
採用椿木密閉式電纜保護鍊條，內置日製特殊線材，不產塵，不斷線。
使用三菱變頻器多段速度控制，可個別同步於前機、及後機的速度，不會有拉板及檔板情形，減少磨屑、及輪痕的發生。
三相感應馬達，配合電子剎車，可快速傳送，準確定位。
玻璃基板傳送滾輪使用軸棒貫通導輪，無偏擺，傳送穩定；另使用時規皮帶同步傳動，無脫步滑動之情況。
層流孔，1/4開孔率，便於HEPA層流，減少灰塵粒子的積聚。

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