鋰電池捲繞設備(8)
適用於各式晶圓,無論形狀、材質的厚度、彎曲度量測
自動化光學非接觸式量測,快速容易量出晶圓的厚度(Thickness)、彎曲度(Bowl)、翹曲度(Warp)、平坦度(Flatness)等