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奈米白光干涉顯微檢測儀  
 
奈米白光干涉顯微檢測儀
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產品型號
奈米白光干涉顯微檢測儀

產品介紹

奈米3D顯微形貌快速呈現

SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀結合台智公司(Carmar) 的相移垂直掃描的專利技術與顯微光干涉技術,不需要複雜光路調整程序,即可在非接觸、無破壞、普通大氣環境下完成3D奈米深度的表面檢測分析,不僅提供3D表面形狀和表面紋理的分析,更可提供鏡面表面的奈米級粗糙度和台階高度分析, 並追溯至ISO國際規範。

SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測儀,具有極強的測量能力,可在幾秒內就完成整個視場的掃描,得到測量樣品的3D圖形與高度數據,檢測速度與深度量測能力優於逐點逐面掃描的 共焦掃描顯微鏡,3D圖形量測能力又優於掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測能力,且不需要使用電子束或雷射,開機快又安全,維護成本更低。

 

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來電洽詢:0912-980-692 林輝智 or 0912-526-951 吳小姐

 

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無論是拋光面,還是粗糙面,甚至是高透明材質(例如石英),只要有超過1%以上的反射率就能夠被檢測。 SWIM系列顯微檢測儀適合各種材料與微元件表面特徵和微尺寸檢測,應用領域包含:
觸控面板 (Touch Panel)
太陽能板 (Solar Cell)
晶圓(Silicon Wafer or Sapphire Wafer)
光碟/硬碟(DVD Disk/Hard Disk)
微機電元件 (MEMS Components)
平面液晶顯示器(LCD)
高密度線路印刷電路板( HDI PCB )
IC封裝( IC Package)
精密微機械元件或模具(Micro Mechanical Parts or Mode)
以及其它材料分析與元件微表面研究。

 


產品特色

相移垂直掃描專利技術,使深度解析度達0.1nm

SWIM系列顯微檢測儀提供Z軸掃描解析度0.1nm,平面空間分辨力0.5 um (50X物鏡)的量測能力,最高達12 um/s的垂直掃描速度,所具有的奈米3D顯微形貌快速呈現能力是科研、研發、生產品檢時所必備的工具。

 

 


規格說明

型號 SWIM-1510MS SWIM-2515MS SWIM-4030MS
SWIM-1510ME SWIM-2515ME SWIM-4030ME
SWIM-1510MZ SWIM-2515MZ SWIM-4030MZ
移動台行程 (mm) 150 x 100 250 x 150 400 x 300
機台尺寸 X/Y/Z (mm) 510 x 560 x 900 570 x 670 x900 700 x 990 x 900
機台重量 (kg) 145 150 296
載重 大於 10 kg
Z 軸移動範圍 80 mm,手動粗調/細調
位置數位顯示單元 三軸光學尺與三軸電腦數位顯示 (解析度0.5 mm)
傾斜調整平台 雙軸/手動
底座 花崗岩
高度測量
測量範圍 100 mm ( 400 mm, 選配)
量測解析度 0.1 nm
重覆精度(σ) (1) ≦ 0.1 % ( 量測高度: > 10 m m)
≦ 10 nm ( 量測高度:1 m m ~ 10 m m)
≦ 5 nm ( 量測高度: <1 m m )
量測控制 自動
掃瞄速度 (mm /s) 12 (最高)
光源
光源類型 儀器用鹵素(冷)光源
平均使用壽命 1000小時(100W) 500小時(150W)
光強度調整 自動 /手動
資料處理與顯示用電腦
中央處理運算單元 雙核心以上CPU
影像與資料顯示螢幕 17" 液晶螢幕
存儲裝置 200 GB 以上硬碟機
作業系統 WindowsXP (2)
電源與環境要求
電源 AC110V /220V ,50Hz /60Hz
環境振動 VC-C等級以上
量測與分析軟體
量測軟體 ImgScan 量測軟體 :
具 VSI / PVSI /PSI 量測模式 ( PSI量測模式需另選配PSI模組搭配)
分析軟體 PostTopo分析軟體:
ISO 粗糙度/階高分析,快速傅利葉轉換和濾波, 多樣的 2D和 3D 觀測視角圖, 外形/面積/體積分析, 圖像縮放, 標準影像檔案格式轉換, 報表輸出, 程序教導量測等。

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