在TFT-LCD的製造上，通常需要成套多片數的光罩。
在精度的要求方面，我們已經達到非常精密的次微米(0.1微米。1/10000毫米）

在製作光罩時，不單只是精密地製作1片光罩而已，而是整套光罩的組合都需要達到相同的要求精度水準。