[瀚笙科技] 3D Micromac microPREP 高速微分析樣品預製
microPREP™ Conclusions
- Value Proposition - User friendliness due to `Simple Use’ concept - Up to 10.000 times faster than FIB - Reproducible - Artefact-free - Automatable - Large areas and/or depth cuts - Very Attractive costs of ownership - BKM library - Fixed workflows for Bulk and x-section - Easy workflow adoption - user definable and customized
microPREPTM - Outlook - microPREP user definable half grids - Customizing of atom probe tips - Large area and array cut - Full structure cut - Exploration industry - Metallurgic micro material analysis
產品特色
3D-Micromac‘s microPREP™ 是第一套以快速、清潔和高效雷射燒蝕方式,用於顯微診斷和故障分析樣品預製的儀器。利用短脈衝雷射,降低結構性損傷,並且具備高功率密度和微米精度等微加工的主要優勢關鍵。microPREPTM可應用在半導體、金屬、陶瓷以及化合物的雷射切割和雷射局部薄化製程。
microPREP™適用於: *金屬、半導體、陶瓷和複合材料的快速樣品預製 * ±3μm高精度目標物的預製 * FIB和寬域離子束 *TEM、TKD、XRM和原子探針斷層掃描 選配: * 可作為桌上型系統或站立系統 * 應用規格製程總成 * 初始於外部的工件固定站 * 不同的製程和分析技術有各種對應的固定製具 * 多樣幾何形狀及材料的分析軟體 * 標記樣品提供後續追蹤 (DMC、QR code、純文字等) * 自動監控雷射薄化製程
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