[瀚笙科技] 3D Micromac microPREP 高速微分析樣品預製

microPREP™ Conclusions

- Value Proposition
- User friendliness due to `Simple Use’ concept
- Up to 10.000 times faster than FIB
- Reproducible
- Artefact-free
- Automatable
- Large areas and/or depth cuts
- Very Attractive costs of ownership
- BKM library - Fixed workflows for Bulk and x-section
- Easy workflow adoption - user definable and customized

microPREPTM - Outlook
- microPREP user definable half grids
- Customizing of atom probe tips
- Large area and array cut
- Full structure cut
- Exploration industry
- Metallurgic micro material analysis

 產品特色

 3D-Micromac‘s microPREP™ 是第一套以快速、清潔和高效雷射燒蝕方式，用於顯微診斷和故障分析樣品預製的儀器。利用短脈衝雷射，降低結構性損傷，並且具備高功率密度和微米精度等微加工的主要優勢關鍵。microPREPTM可應用在半導體、金屬、陶瓷以及化合物的雷射切割和雷射局部薄化製程。

microPREP™適用於:
*金屬、半導體、陶瓷和複合材料的快速樣品預製
* ±3μm高精度目標物的預製
* FIB和寬域離子束
*TEM、TKD、XRM和原子探針斷層掃描

選配:
* 可作為桌上型系統或站立系統
* 應用規格製程總成
* 初始於外部的工件固定站
* 不同的製程和分析技術有各種對應的固定製具
* 多樣幾何形狀及材料的分析軟體
* 標記樣品提供後續追蹤 (DMC、QR code、純文字等)
* 自動監控雷射薄化製程

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