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三籃具玻璃收/送機
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玻璃基板尺寸
:14"*16"mm。
玻璃基板厚度
:T=0.55mm,0.7mm,1.1mm。
玻璃基板輸送機高度
:900mm±30mm。
玻璃基板輸送方向
:由左至右,或由右到左。
CASSETE儲存架
:三籃具。
CASSETE PITCH
:8mm。
TACT TIME
:≧15sec/pcs。
機架
籃具交換機構
籃具升降機構
玻璃基板θ軸定位補正
玻璃基板送/收板機械手
輸送機傳動機構
SS41(40*40*2.3t)四方管,燒焊結合,粉體烤漆塗裝。
機台封板
:不鏽鋼亮面下封板+PVC上封板。
HEPA FILTER UNIT
︰AIR TECH。
穿梭(SHUTTLE-ARM)手臂搬送。
穿梭手臂前進方式
:感應馬達、配合精密滾珠螺桿及導軌傳動。
籃具升降機構
升降總行列
:350mm(MAX)。
升降定位控制方式
:玻璃檢知+Photo sensor定位(EE-SPY412)。
升降機位移驅動方式
:三菱伺服馬達。
升降機傳動方式
:導軌及滑塊、配合精密滾珠螺桿傳動。
升降落下保護
:斷電剎車。
(依籃具形式選用)
配合籃具以氣缸作θ軸定位補正。
穿梭(SHUTTLE-ARM)手臂搬送。
穿梭手臂升降方式
:氣缸配合鈄推塊,具S曲線加減速功能。
穿梭手臂前進方式
:馬達配合精密滾珠螺桿及導軌傳動。
輸送機傳送速度
:200mm/sec (可調速)。
輸送機傳送方式
:圓型皮帶輪+無塵室用圓型O-RING(SILICON)。
玻璃基板傳送滾輪
:M/C塑鋼輪+O-RING(SILICON)。
傳送滾輪PITCH
:60mm。
輸送機長度
:600mm長(依final圖面)。
輸送機驅動馬達
:25W AC感應式馬達+調速器。
玻璃基板θ軸定位補正
:有。
控制系統
:三菱FX2N程式控制機系統+DIGIT人機介面。
耗 電 量
:2.0Kw。
電 源
:三相,220VAC,60/50Hz。
機台尺寸
:1500mm×1800mm×1750mm(參考尺寸,依final圖面)。
重量
:400㎏
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