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超音波乾式清洗機
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玻璃基板尺寸
:14"*16"mm。
玻璃基板厚度
:T=0.55mm,0.7mm,1.1mm。
玻璃基板輸送機高度
:900mm±30mm。
玻璃基板輸送方向
:由左至右,或由右到左。
TACT TIME
:≧15sec/pcs。
超音波清洗機主機
機架
X軸搬移機構
真空平台及升降機構
玻璃定位機構
輸送機傳動機構
採用日本伸興(SHINKO)UVU-F TYPE 乾式超音波清洗主機
入口及出口各裝有除靜電裝置。
其規範、除塵原理、除塵能力參考附頁。
SS41(40*40*2.3t)四方管,燒焊結合,粉體烤漆塗裝。
機台封板
:不鏽鋼亮面下封板+PVC上封板。
HEPA FILTER UNIT
︰AIR TECH。
搬移速度
:0-200mm/sec (MAX).
搬移距離
:500mm (有效搬移距離).
搬移驅動方式
:三菱伺服馬達。
搬移傳動方式
:導軌及滑塊、配合精密滾珠螺桿傳動。
真空平台
:無油式真空幫浦。
升降機構
:伺服馬達配合直線軸承及導柱,作上昇/下降動作。
升降驅動方式
:三菱伺服馬達驅動。
玻璃厚度設定
:可設定玻璃厚度,自動補償Gap,玻璃厚度由人機介面
具有玻璃定位機構。
玻璃基板輸送速度
:200mm/sec (可調速)。
玻璃基板輸送方式
:圓型皮帶輪+無塵室用圓型O-RING(SILICON)。
玻璃基板輸送輪
:M/C塑鋼輪+O-RING(SILICON)。
輸送帶驅動馬達
:25W AC感應式馬達+調速器(東方)。
控制系統
:三菱FX-2N程式控制機系統+DIGIT人機 介面。
耗 電 量
:8.5Kw。
電 源
:三相,220VAC,60/50Hz。
空 壓 源
:5-7kg/cm2。
機台尺寸
:1720mm×1100mm×1750mm(參考尺寸,依final圖面)。
重量
:650㎏(含BLOWER & HEPA)
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