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常用電壓清潔設備
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常用電漿設備-SAP004
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產品型號
SAP004
規格說明
技術規格（針對
LCM）
項 目
規 格
工作氣體
N
or CDA
；樣品處理完即可關閉氣體
處理速度
75-300 mm/s
處理距離
最大約
20 mm
溫度
<
60°C
掃瞄方式
X-Y
掃瞄
機台尺寸
(W×D×H)
1000mm x 1100mm x 1920mm
重量
310Kg
電源
220V AC，30A
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