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在TFT-LCD的製造上,通常需要成套多片數的光罩。
在精度的要求方面,我們已經達到非常精密的次微米(0.1微米。1/10000毫米)
在製作光罩時,不單只是精密地製作1片光罩而已,而是整套光罩的組合都需要達到相同的要求精度水準。
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