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除霧玻璃/防眩AG玻璃/抗靜電玻璃/螢幕玻璃/黃光玻璃(5)

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黃光玻璃/橘光玻璃/黃光室玻璃  
 
黃光玻璃/橘光玻璃/黃光室玻璃
   
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產品型號
UL-Optics Glass

產品介紹

黃光室是進行IC晶片微影成像術的區域,將光阻材料利用旋鍍法 (Spin Coating)披覆在晶圓上,而後再放置於曝光機下進行曝光,以使紫外光源透過光罩照射於光阻而得到感光圖像,最後再以藥劑進行顯影而得到實際圖像。
早期曝光機的光源為全光譜光源,後演進到G-line(436nm)光源,目前最廣泛使用的為I-line(365nm)光源,對於0.3μm線寬以下的IC製 程,則須採用深紫外線(deep UV)248nm光源,甚至X-光或電子束。 目前光源較常採用高壓水銀(汞)弧燈,由於其特性,所以須經濾光片以獲得所需的I-line(365nm)光線。
為了避免光阻在曝光前、曝光後受到曝光機以外的光線照射而曝光,所以整個作業必須在黃光室下進行,換言之,所有照明用的光源必須加以過濾,照明燈底罩及各式隔間門及窗皆應具有過濾 波長大於380nm紫外光的能力。但必須注意的一點,有些黃色透明板雖具有黃光但對於紫外光卻未完全隔絕,嚴格來說,這是不合格的產品。例如常被用於黃光室的5mm黃色壓克力透明板,在I-line(365nm)波長附近卻有不少的穿透率。
優麗雅黃光玻璃是一種讓玻璃本體表層自然發色的技術,不但耐刮、耐磨、不燃,而且能達成隔絕紫外線的標準。
此外,優麗雅黃光玻璃可兼具抗靜電及防爆的功能,可依客戶需求作成單面抗靜電或雙面抗靜電的黃光玻璃,以符合最新等級無塵室之要求。


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