常用電漿設備-SAP004
產品型號
SAP004
規格說明
| 技術規格（針對LCM） | |
| 項 目 | 規 格 |
| 工作氣體 | N or CDA；樣品處理完即可關閉氣體 |
| 處理速度 | 75-300 mm/s |
| 處理距離 | 最大約20 mm |
| 溫度 | < 60°C |
| 掃瞄方式 | X-Y掃瞄 |
| 機台尺寸(W×D×H) | 1000mm x 1100mm x 1920mm |
| 重量 | 310Kg |
| 電源 | 220V AC，30A |
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| 處理距離 | 最大約20 mm |
| 溫度 | < 60°C |
| 掃瞄方式 | X-Y掃瞄 |
| 機台尺寸(W×D×H) | 1000mm x 1100mm x 1920mm |
| 重量 | 310Kg |
| 電源 | 220V AC，30A |
