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Array Tester |
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| 產品介紹 |
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產品介紹 :
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電子束高速Array檢査裝置Pixel Scope是利用電子束的非接觸型的檢査裝置。
採用多支電子槍系統，可以高速進行尺寸日愈增大的液晶Array基板的缺陷檢査。
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| 產品特色 |
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功能說明 :
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■完全非接觸式檢查
電子束的檢查技術不會傷害面板。
■可以快速處理大型基板
採用多支電子束檢查方式
■同時缺陷分類功能
可以根據表面電位信號和波形的抽樣調查，同時進行檢查和缺陷分類。
■可更換準備好的Panel size /layout
Probe Frame的自動更換功能（G6以下標準搭載）。 |
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