免費加入 | MyRS | 線上客服
方裕科技有限公司
 
  產品介紹分類

半導體設備 零件(4)

  產品介紹
 

 
 
實驗室電漿設備系統
認證
0
推薦
0
 
 

 

產品型號
PE CVD

產品介紹

實驗用小型電漿系統設備

電漿輔助化學氣相沉積 Model: PECVD-Clip Series Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)

規格:

.綜合說明: 腔體上蓋板上掀式設計,手動放置晶片,Load Lock

晶片尺寸: 8〞或8〞以下。

二.電漿源   RF Generator 13.56MHz, 600W自動匹配器。

 

三.機台尺寸  800x1060x1900mm

規格可依客戶需求調整

 


  相關產品
 


里揚電子商務有限公司
©2007-2021 RecycleSources All Rights Reserved.







(0)
目前尚無任何資料