乾式洗滌塔
產品介紹
1.高處理效率
◇處理效率＞99％
◇處理後初流濃度 < TLV.
◇Arsine < 50 ppb，SiH4 < 5000 ppb
◇Phosphine < 300 ppb
2.維修保養簡易，可節省二分之一的時間
◇在常溫及常壓下操作
◇不需消耗燃料及水
◇不需經常更換機械零件
◇不需加鹼液
3.廢水及廢棄物易處理
◇無廢水處理的問題
◇無廢棄濾材及毒性微粒處理問題，如SiO2、As2O3 & P2O5
◇廢觸媒可回收及再利用,不需再處理
4.操作容易
◇只需更換觸媒
5.無著火危險
相關產品
